Revetement d'anode remplaçable pour source d'ions

Replaceable anode liner for ion source

Abstract

L'invention concerne un revêtement d'anode amovible qui est ajusté à l'intérieur de l'anode d'une source d'ions. Ladite protection permet aux électrons d'être projetés dans l'anode, les dépôts isolants adhérant à l'intérieur du revêtement d'anode, augmentant ainsi la vie efficace de l'anode sans remplacement ou réparation prématurés.
A releasable anode liner that is fitted within the interior of the anode of an ion source. The cover permit; electrons to be projected into the anode wherein any insulating deposits adhere to the interior of the anode liner, thereby increasing the effective life of the anode without premature replacement or repair.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-1049133-A2November 02, 2000Applied Materials, Inc.Amélioration de l'adhésion de dépots sur les surfaces exposées dans une chambre de traitement
    US-5889281-AMarch 30, 1999Leybold Inficon, Inc.Method for linearization of ion currents in a quadrupole mass analyzer
    US-6413387-B1July 02, 2002Filplas Vacuum Technology Pte Ltd.Cathode arc source for metallic and dielectric coatings

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle